smartVIS3D – Systemsoftware
Mit smartVIS3D erleben Sie die perfekte Verbindung aus modernster 3D-Oberflächenmesstechnik und leistungsfähiger Software. Die Systemsoftware ermöglicht intuitives Handling, Echtzeitberechnung hochauflösender 3D-Daten und die effiziente Steuerung Ihres Messgeräts – für reproduzierbare, zuverlässige Ergebnisse.
| graphische Benutzeroberfläche | |
| Visualisierung | Kamerabild, Kontrastvergrößerung, Achspositionen |
| Parameter Einstellung | Messbereich, Schrittweite, Makros, ROI, Dezimation |
| Bewertungsalgorithmen | |
| VSI | vertikal Scanning Interferometrie |
| EPSI | extended Phase-Shift-Interferometrie |
| GPGPU | Echtzeit Berechnung der 3D Daten auf programmierbaren Grafikkarten |
| infinite Fokus | optionale Erstellung tiefenscharfer Kamerabilder ohne Fokusbeschränkung und Interferenzstreifen |
| Qualitätsüberwachung | |
| Funktion | Erzeugung, Nutzung und Export von Qualitätskarten mit Informationen zu jedem Messpunkt basierend auf dem Grad der Übereinstimmung mit idealen Signalen und Plausibilitätsüberwachung |
| Steuerung motorisierter Positionierachsen | |
| Positionierung | Bahn- und Positionssteuerung |
| Stitching | Messmakros für große Messbereiche mit vielen Einzelmessung und der Zusammenführung (Stitching) |
Intuitive Steuerung und automatisierte Abläufe
Mit smartVIS3D steuern Sie das Messgerät komfortabel von der Probenpositionierung bis zur Datenerfassung:
- Auswahl des Messvolumens in X, Y, Z
- Einstellung der Messparameter wie Objektiv, Beleuchtung, Geschwindigkeit
- Unterstützung von EPSI/VSI für höchste Z-Auflösung
- Auswahl des Bewertungsumfanges über MountainsMap-Makros
smartVIS3D eignet sich ideal für:
-
Hochpräzise Oberflächenmessungen in Forschung und Entwicklung
-
Qualitätssicherung in der Fertigung von Linsen, Glas und Mikrostrukturen
- Analyse stark geneigter, transparenter oder rauer Oberflächen
Hochgeschwindigkeits-
Messungen mit maximaler
Präzision
smartVIS3D bietet eine massive Rechenleistung von über 80 TFLOPS über mehr als 16 000 Kerne, wodurch die Software in Echtzeit hochauflösende 3D-Daten berechnet.
- Bis zu 8 Millionen Messpunkte pro Aufnahme
- bis zu 3000 Bilder pro Sekunde
- Vertikal messen mit bis zu 400 µm/s
- Bis zu 75.000 Bilder pro Messung
- Unterstützung von bis zu 450 GB Bilddaten
Dank Echtzeitberechnung auf der Grafikkarte erhalten Sie 3D-Daten ohne Verzögerung – selbst bei komplexen und stark geneigten Oberflächen.
Intelligente Bildverarbeitung
für präzise Ergebnisse
Unsere Software bietet fortschrittliche Algorithmen zur Bildkorrektur, Kontrastoptimierung und flexiblen Messsteuerung – entwickelt für höchste Messgenauigkeit auch bei anspruchsvollen Proben:
- Anpassbarer Messbereich für individuelle Anforderungen
- Zuverlässige Messung transparenter und stark geneigter Oberflächen
- Glatte, artefaktfreie Flanken durch modellbasierte Signalverarbeitung
- Automatische Ausreißererkennung für maximale laterale Auflösung
- Dynamische Beleuchtungs- und Kontrastanpassung zur einfachen Positionierung und sicheren Erfassung
- Selektives Entfernen unerwünschter Scanbereiche
Höchste Höhenauflösung mit Extended Phase-Shift Interferometry (EPSI)
Für Anwendungen, die maximale Präzision erfordern, bietet unser System mit Extended Phase-Shift Interferometry (EPSI) eine Z-Auflösung im Sub-Nanometer-Bereich – ideal für extrem glatte und optisch polierte Oberflächen.
EPSI nutzt eine präzise Phasenauswertung innerhalb der Interferenzsignale und erweitert klassische Verfahren durch fein abgestimmte Phasenverschiebungen mit hoher vertikaler Abtastrate. In Kombination mit modellbasierter Signalverarbeitung und GPU-beschleunigter Auswertung ermöglicht EPSI die zuverlässige Detektion feinster Höhenunterschiede – selbst bei minimalem Kontrast oder schwacher Reflexion.
Ihre Vorteile:
- Sub-Nanometer-Z-Auflösung für ultrapräzise Oberflächenanalysen
- Optimiert für spiegelnde, glatte und funktional beschichtete Materialien
- Stabil gegenüber Umgebungsrauschen durch hochdynamische Signalauswertung
- Ideal für Anwendungen in Optik, Halbleiterfertigung, Mikromechanik und Forschung
Leistungsstarke Datenanalyse mit MountainsMap®
Für eine präzise und anwenderfreundliche Auswertung Ihrer 3D-Messdaten ist smartVIS3D vollständig in die Analyseplattform MountainsMap® integriert – die weltweit etablierte Softwarelösung für Oberflächenmetrologie.
Die nahtlose Anbindung ermöglicht eine direkte Weiterverarbeitung der Interferometriemessungen aus smartVIS3D – von der Visualisierung bis zur tiefgehenden Analyse.
Ihre Analysevorteile mit MountainsMap®:
- Intuitive 3D-Visualisierung von Oberflächenstrukturen und Profilschnitten
- Rauheits- und Welligkeitsauswertung nach internationalen Normen (ISO, DIN, JIS etc.)
- Formprüfung und statistische Strukturanalyse komplexer Funktionsflächen
- Toleranzvergleiche mit benutzerdefinierten oder normbasierten Grenzwerten
- Automatisierte Auswertung großer Messreihen über Makros und Batch-Verarbeitung
- Datenexport in zahlreiche Formate für Dokumentation, Weiterverarbeitung oder Reporting (z. B. PDF, Excel, CAD)
Individuell anpassbar und leistungsstark: Ob Forschung, Qualitätssicherung oder Serienprüfung – MountainsMap® ergänzt smartVIS3D ideal für alle Anwendungen, bei denen Oberflächenfunktion zählt.
smartVIS3D DLL für Integratoren
| Funktionalität | Bibliothek für den Zugriff auf alle Sensorfunktionen die in Fremdsoftware integriert werden können eine eigene Benutzeroberfläche ist dabei nicht enthalten |
| Programmiersprachen | C++; C# |
| Dokumentation | Handbuch dokumentierte Beispielapplikation inklusive Programmiercode |
Flexible Software-Upgrades für smartVIS3D
Erweitern Sie Ihre smartVIS3D-Software gezielt mit leistungsstarken Upgrade-Modulen – abgestimmt auf Ihre spezifischen Anwendungen in Qualitätssicherung, Fertigungsüberwachung oder Forschung und Entwicklung. Die modularen Erweiterungen ermöglichen maximale Funktionalität und Präzision – genau dann, wenn Sie sie brauchen.
Verfügbare Upgrade-Module im Überblick:
- Extension Project Management
Automatisierung komplexer Messprojekte mit mehreren Messpositionen, automatischem Fokus, Objektivwechsel und optionaler Nivellierung – ideal für zeitaufwändige Anwendungen wie Wafermessungen oder strukturierte Substrate. - HD-EPSI / High Precision
Für hochpräzise Höhenmessungen im Sub-Nanometer-Bereich – ideal für spiegelnde, glatte oder optisch polierte Oberflächen, z. B. in der Halbleiter-, Optik- oder Medizintechnik. - smartStitch
Nahtloses Stitching mehrerer Einzelmessungen zu großflächigen, hochaufgelösten 3D-Datensätzen – z. B. für Wafer, Werkzeugeinsätze oder strukturierte Oberflächen im µm-Bereich. - smartLayer
Schichtweise Analyse und Visualisierung komplexer Mehrlagenstrukturen – optimal bei transparenten Schichten, Beschichtungen oder mikrostrukturierten Komponenten. - IO-Module Package
Integrieren Sie smartVIS3D in automatisierte Messsysteme – mit digitalen Ein-/Ausgängen, Triggerfunktionen und flexiblen Schnittstellen für Ihre Fertigungsumgebung.
Skalierbar. Zukunftssicher. Passend zu Ihren Anforderungen.
Mit den smartVIS3D-Software-Upgrades rüsten Sie Ihr System gezielt auf – jederzeit erweiterbar, exakt an Ihre Applikation angepasst.
HD-EPSI Upgrade für smartVIS3D
| Funktionalität | Zusatzfunktionen zur Rauschunterdrückung und Beschleunigung von Messabläufen |
| prescan | dual Scanning Technologie zur Kompensation von Positionsunsicherheiten für die schnelle Bestimmung des Messbereiches mit anschließend hochauflösender Messung |
| HD-EPSI | Scanning mit Höheninkrementen unterhalb λ/8 zur Rauschunterdrückung |
| Profilmittelung | automatische Mehrfachmessung mit Beseitigung von Ausreißern und Mittelung der Höhenwerte zur Rauschunterdrückung |
smartStitch Upgrade für smartVIS3D
| Funktionalität | integrierte Funktionalität zur Zusammenführung von Einzelmessungen unter Berücksichtigung von Höhen- und Winkelabweichungen auch für extrem glatte Oberflächen |
smartLayer Upgrade für smartVIS3D
| Funktionalität | Extraktion mehrerer Layer zur Messung von Schichtdicken von transparenten Schichten auf reflektierenden Materialien, sofern mehrere Korrelogramme erkannt werden können |
smartVIS3D Erweiterung Projektmanagement
| Automatisierung | Generierung komplexer Messaufgaben |
| Messen von mehreren Messpositionen | |
| Automatisierte Ergebnisexporte | |
| Austausch von Objektivvergrößerungen innerhalb eines automatisierten Workflows | |
| Autofokus innerhalb des Bereichs der motorisierten Z-Achse | |
| Automatische Nivellierung | |
| Hardware-Anforderungen | Motorisierte XYZ-Tische |
| Sensoren einschließlich eines Objektivrevolvers | |
| motorisierte Kipp-/Neigung empfohlen | |
| Anwendung | ermöglicht ein automatisiertes Arbeiten für zeitaufwändige komplexe Messaufgaben auf Wafern oder ähnlichen flachen Proben |
smartVIS3D DLL Advanced
| prescan | dual Scanning Technologie zur Kompensation von Positionsunsicherheiten für die schnelle Bestimmung des Messbereiches mit anschließend hochauflösender Messung |
| HD-EPSI | Scanning mit Höheninkrementen unterhalb λ/8 zur Rauschunterdrückung |
| Profilmittelung | automatische Mehrfachmessung mit Beseitigung von Ausreißern und Mittelung der Höhenwerte zur Rauschunterdrückung |
| Client Server Architecture | Bibliothek für den remote Zugriff auf die Sensorfunktionen von einem anderen PC in C++ (Nutzer PC -> Kontroller -> Sensor) |
IO Modul
| Funktionalität | Sensor Integration ohne Programmierung |
| Triggerung vordefinierter Mess- und Bewertungsabläufe über Signale der IO-Karte | |
| Hardware | IO Modul USB Advantech USB-4750 |
| Anforderungen | smartVIS3D Bewertungssoftware (MountainsMap® oder Alternative Software) |
