Symposium zur Laserpräzisionsmikrofabrikation
GBS präsentierte im Juni 2020 auf dem Laser Precision Microfabrication Symposium einen neuen Prozess zur Erreichung einer „Super Resolution“
GBS präsentierte in einem Vortrag mit dem Thema: „Optische Messung funktionaler Oberflächenstrukturen gemessen mit Superauflösung“ eine neue Methode zur Erhöhung der Auflösung in smartWLI-Messungen. Zusammenfassend lässt sich Folgendes sagen:
- Die Systeme können verwendet werden, um funktionale Oberflächen mit einem Grass unter 1 µm zu messen
- Die für die Datenauswertung verwendeten Algorithmen haben einen starken Einfluss auf die praktisch erreichte laterale Auflösung
- Superauflösung kann die Messergebnisse verbessern, auch wenn die ursprüngliche Messpunktdichte der Kamera bereits deutlich unter der optischen Auflösung des verwendeten Objektivs liegt
- Strukturierte Höhe, Material und Geometrie haben einen signifikanten Einfluss auf die seitliche Auflösung, die das System erreichen kann
- Der DLIM-Parameter ist ein geeignetes Werkzeug, um die seitliche Auflösung des Systems zu überprüfen
Laden Sie die vollständige Präsentation herunter:
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