bool(false)

smartWLI nimbus8
Hochgeschwindigkeitssensor
mit extremer Auflösung

Ausgestattet mit einem Objektivrevolver und einer hochauflösenden, schnellen 10-GigE-Kamera bietet der Sensor hervorragende Leistung für universelle Messplätze und optische 3D-Profilometer, die in Forschungseinrichtungen für anspruchsvolle Messaufgaben eingesetzt werden.

Produktfoto des smartWLI nimbus8 Hochgeschwindigkeitssensors mit extremer Auflösung von GBS metrology.
Messprinzip Kohärenz-Scanning (Weißlicht) Interferometer
Hochgeschwindigkeits- und Hochauflösungskamera 3488 x 2192 pixel / 160 fps 10GigE Kamera / optionale Dezimierung, binning and AOI (ROI)
Optischer 3D-Sensor Hochleistungssensor mit motorisiertem Objektivrevolver für bis zu 4 Objektive
Messachse Piezopositioniersystem, kapazitive Closed-Loop-Steuerung; 200μm Messbereich / 30nm Linearitätsabweichung
Hochgeschwindigkeitsmessungen Echtzeit-Bildverarbeitung auf modernen Grafikkarten
Allgemeine Auswertungsalgorithmen HD-EPSI mit kombinierter: VSI (vertical scanning interferometry / Lokalisierung der Interferenzmaxima mit unbegrenztem Scanbereich) PSI (phase shift interferometry für extreme Höhenauflösung)
Schnelle und effektive Rauschunterdrückung Extrem kleine Schrittweiten ermöglichen eine schnelle und effektive Rauschunterdrückung für einzelne Scans und können mit zeitaufwändigen Mittelungsprozessen unter
Extreme laterale Auflösung Unbegrenzte Auswertung von bis zu 8 MP Messpunkten ohne Bereichs- und Auflösungsbegrenzung (außer beschleunigte Messungen mit Dezimierung, Binning und AOI
vergrößerter/erhöhter Akzeptanzwinkel Bildkorrekturen und Kontrastverstärkung ermöglichen die Erkennung schwacher Signale und die Messung steiler Geometrien auf glänzenden Objekten
konturfreie Scanverfahren AQC (Advanced Quality Control) vergleicht das Interferenzsignal jedes Messpunkts mit einem idealen Signal und eliminiert Ausreißer ohne Matrixfilter.

Anwendungsbeispiel

Beispielmessungen smartWLI nimbus8

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DE smartWLI nimbus8
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smartWLI next

High-End-Sensor mit motorisiertem Objektivrevolver
Zubehör
Scan-/Fokusachse (50 mm, motorisiert)
XY-Positioniertisch (100 × 100 mm², motorisiert)
Kipptisch (manuell bedienbar)
Zubehör
Scan-/Fokusachse (70 mm, manuell bedienbar)
XY-Positioniertisch (100 × 100 mm², motorisiert)
Kipptisch (manuell bedienbar)

smartWLI firebolt

Hochgeschwindigkeitssensor für Produktionsumgebungen
Zubehör
Scan-/Fokusachse (70 mm, manuell bedienbar)
XY-Positioniertisch (100 × 100 mm², motorisiert)
Kipptisch (manuell bedienbar)

smartWLI extended

Universeller Sensor für Messlabore
Zubehör
Scan-/Fokusachse (70 mm, manuell bedienbar)
XY-Positioniertisch (100 × 100 mm², motorisiert)
Kipptisch (manuell bedienbar)
Zubehör
Scan-/Fokusachse (70 mm, manuell bedienbar)
XY-Positioniertisch (100 × 100 mm², manuell bedinbar)
Kipptisch (manuell bedienbar)

smartWLI firebolt8

Hochgeschwindigkeitssensor für Produktionsumgebungen
Zubehör
Scan-/Fokusachse (70 mm, manuell bedienbar)
XY-Positioniertisch (100 × 100 mm², motorisiert)
Kipptisch (manuell bedienbar)
Zubehör
Scan-/Fokusachse (70 mm, manuell bedienbar)
XY-Positioniertisch (100 × 100 mm², motorisiert)
Kipptisch (manuell bedienbar)
Weitere Leistungen

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Maximale Messgenauigkeit erfordert nicht nur einen leistungsfähigen 3D-Oberflächensensor – sondern auch ein optimal abgestimmtes Zubehör. Unser Zubehörprogramm wurde gezielt entwickelt, um die Leistungsfähigkeit unserer Systeme voll auszuschöpfen und Ihre Messergebnisse auf ein neues Niveau zu heben.

Produktfoto Zubehörteil: Granitprofil

Stative & Granitportale

Objektive

Produktfoto Kalibrierstandard lateral calibration standards

Kalibrierstandards

Schwingungsisolation

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smartWLI next
High-End-Sensor mit
motorisiertem Objektivrevolver

Der smartWLI next kombiniert die hohe Auflösung eines Piezoscanners mit den Vorteilen eines motorisierten Revolvers. Der Sensor kann mit einer von drei verschiedenen Kameras ausgestattet werden, die unterschiedliche Geschwindigkeit und Auflösung bieten.
Verschiedene Stative, Granitportale, Schwingungsdämpfungssysteme und automatische Kippvorrichtungen ermöglichen die Konfiguration maßgeschneiderter optischer 3D-Profiler unter Verwendung des smartWLI next als Schlüsselkomponente für Hochleistungsmessungen.
Das SDK inklusive C++- und C#-Bibliotheken sowie Quellcode für Beispielanwendungen ermöglicht die einfache Integration des Sensors in High-End-Messstationen für Halbleiter und Optik.

optischer 3D Sensor Hochleistungssensor mit motorisiertem Objektivrevolver für bis zu 4 Objektive
Messprinzip Kohärenz-Scanning (Weißlicht) Interferometer
Messachse Piezopositionier-System mit kapazitivem Sensor und Positionsregulierung
Hochgeschwindigkeitskamera Variante 1.3 MP: 1280 x 1024 pixel / 935 Hz und Beschleunigung bis zu 10 kHz bei eingeschränkter Messpunktanzahl Variante
Variante 2,3 MP: 1920 x 1200 pixel / 169 Hz und Beschleunigung bis zu 3,2 kHz beieingeschränkter Messpunktanzahl
Variante 5,0 MP: 2456 x 2054 Pixel / 77 Hz und Beschleunigung bis zu 2 kHz beieingeschränkter Messpunktanzahl
Höhenberechnung massiv parallele Verarbeitung der Bilddaten in Echtzeit in den GPGPUs (Allzweck-Grafikprozessor / programmierbare Hochleistungs-Grafikkarten)
SDK Softwarebibliotheken in C++ und C# mit Beispielapplikation und zugehörigem Quellcode Steuerung aller Sensorfunktionen
Bewertungsalgorithmen VSI (Vertikal Scanning Interferometrie), EPSI (Extended Phase Shift Interferometrie)
optionale Bewertungsalgorithmen HD-EPSI (high density – erweiterte Phasenverschiebungsinterferometrie) mit kleinen Abtastschritten
optionale Profilmittelungen Mittelung über bis zu 40 Einzelmessungen zur Rauschunterdrückung
Schrittweiten variable Schrittweiten zur Optimierung von Auflösung und Messgeschwindigkeit

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smartWLI nimbus8

Hochgeschwindigkeitssensor mit extremer Auflösung
Zubehör
Scan-/Fokusachse (100 mm, motorisiert)
XY-Positioniertisch (200 × 200 mm², motorisiert)
Kipptisch (motorisiert)
Zubehör
Scan-/Fokusachse (70 mm, manuell bedienbar)
XY-Positioniertisch (100 × 100 mm², motorisiert)
Kipptisch (manuell bedienbar)

smartWLI firebolt

Hochgeschwindigkeitssensor für Produktionsumgebungen
Zubehör
Scan-/Fokusachse (70 mm, manuell bedienbar)
XY-Positioniertisch (100 × 100 mm², motorisiert)
Kipptisch (manuell bedienbar)

smartWLI extended

Universeller Sensor für Messlabore
Zubehör
Scan-/Fokusachse (70 mm, manuell bedienbar)
XY-Positioniertisch (100 × 100 mm², motorisiert)
Kipptisch (manuell bedienbar)
Zubehör
Scan-/Fokusachse (70 mm, manuell bedienbar)
XY-Positioniertisch (100 × 100 mm², manuell bedinbar)
Kipptisch (manuell bedienbar)

smartWLI firebolt8

Hochgeschwindigkeitssensor für Produktionsumgebungen
Zubehör
Scan-/Fokusachse (70 mm, manuell bedienbar)
XY-Positioniertisch (100 × 100 mm², motorisiert)
Kipptisch (manuell bedienbar)
Zubehör
Scan-/Fokusachse (70 mm, manuell bedienbar)
XY-Positioniertisch (100 × 100 mm², motorisiert)
Kipptisch (manuell bedienbar)
Weitere Leistungen

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Maximale Messgenauigkeit erfordert nicht nur einen leistungsfähigen 3D-Oberflächensensor – sondern auch ein optimal abgestimmtes Zubehör. Unser Zubehörprogramm wurde gezielt entwickelt, um die Leistungsfähigkeit unserer Systeme voll auszuschöpfen und Ihre Messergebnisse auf ein neues Niveau zu heben.

Produktfoto Zubehörteil: Granitprofil

Stative & Granitportale

Objektive

Produktfoto Kalibrierstandard lateral calibration standards

Kalibrierstandards

Schwingungsisolation

bool(false)

smartWLI extended
Universeller Sensor für
Messlabore

Der manuelle Revolver vereinfacht die Bedienung des schnellen optischen 3D-Sensors. Der 400 µm Piezoversteller ermöglicht die Messung extrem glatter Oberflächen. Der Revolver ermöglicht die einfache Lokalisierung kleiner Merkmale mithilfe von Objektiven mit geringer Vergrößerung und einem sofortigen Wechsel des Objektivs für Messungen.
Aus einer Vielzahl unterschiedlicher Stativen und Granitportalen können optische 3D-Profiler von GBS passend zu den Anforderungen aufgebaut werden. Alternativ kann das SDK inklusive C++- und C#-Bibliotheken sowie Quellcode für Beispielanwendungen genutzt werden, um den Sensor in kundenspezifische Messstationen zu integrieren.

Produktfoto smartWLI extended
optischer 3d sensor Hochleistungssensor mit manuellem Objektivrevolver für bis zu 4 Objektive
Messprinzip Interferometer mit Kohärenzabtastung (Weißlicht)
Messachse Piezopositionier-System mit kapazitivem Sensor und Positionsregulierung
Hochgeschwindigkeitskamera 1920 x 1200 Pixel / 169 fps und Beschleunigung auf bis zu 3,2 kfps mit Dezimierung
Punktauswertung massiv parallel in Echtzeit auf den GPGPUs
SDK Softwarebibliotheken in C++ und C# mit Beispielapplikation und zugehörigem Quellcode
Bewertungsalgorithmen VSI (Vertikal Scanning Interferometrie), EPSI (Extended Phase Shift Interferometrie)
optionale Bewertungsalgorithmen HD-EPSI (high density – erweiterte Phasenverschiebungsinterferometrie) mit kleinen Abtastschritten
Profilmittelungen optionale Mittelung über bis zu 40 Einzelmessungen zur Rauschunterdrückung
Schrittweiten variable Schrittweiten zur Optimierung von Auflösung und Messgeschwindigkeit
Systemsoftware smartVIS3D – Benutzeroberfläche zur Messdatenerfassung
Bewertungssoftware MountainsMap® – Zusammenfügung von Einzelmessungen Visualisierung und Bewertung von 3D-Daten
vereinfachte Automatisierung IO Modul zur Triggerung vordefinierter Mess- und Bewertungsprozesse
optionale Softwareerweiterungen smartSTITCH – mit Höhen- und Winkelkompensation / versatzfreies Zusammenfügen von Nanostrukturen

Anwendungsbeispiel

Beispielmessung smartWLI extended

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DE smartWLI extended
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smartWLI nimbus8

Hochgeschwindigkeitssensor mit extremer Auflösung
Zubehör
Scan-/Fokusachse (100 mm, motorisiert)
XY-Positioniertisch (200 × 200 mm², motorisiert)
Kipptisch (motorisiert)

smartWLI next

High-End-Sensor mit motorisiertem Objektivrevolver
Zubehör
Scan-/Fokusachse (50 mm, motorisiert)
XY-Positioniertisch (100 × 100 mm², motorisiert)
Kipptisch (manuell bedienbar)
Zubehör
Scan-/Fokusachse (70 mm, manuell bedienbar)
XY-Positioniertisch (100 × 100 mm², motorisiert)
Kipptisch (manuell bedienbar)

smartWLI firebolt

Hochgeschwindigkeitssensor für Produktionsumgebungen
Zubehör
Scan-/Fokusachse (70 mm, manuell bedienbar)
XY-Positioniertisch (100 × 100 mm², motorisiert)
Kipptisch (manuell bedienbar)

smartWLI extended

Universeller Sensor für Messlabore
Zubehör
Scan-/Fokusachse (70 mm, manuell bedienbar)
XY-Positioniertisch (100 × 100 mm², motorisiert)
Kipptisch (manuell bedienbar)
Zubehör
Scan-/Fokusachse (70 mm, manuell bedienbar)
XY-Positioniertisch (100 × 100 mm², manuell bedinbar)
Kipptisch (manuell bedienbar)

smartWLI firebolt8

Hochgeschwindigkeitssensor für Produktionsumgebungen
Zubehör
Scan-/Fokusachse (70 mm, manuell bedienbar)
XY-Positioniertisch (100 × 100 mm², motorisiert)
Kipptisch (manuell bedienbar)
Zubehör
Scan-/Fokusachse (70 mm, manuell bedienbar)
XY-Positioniertisch (100 × 100 mm², motorisiert)
Kipptisch (manuell bedienbar)
Weitere Leistungen

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Maximale Messgenauigkeit erfordert nicht nur einen leistungsfähigen 3D-Oberflächensensor – sondern auch ein optimal abgestimmtes Zubehör. Unser Zubehörprogramm wurde gezielt entwickelt, um die Leistungsfähigkeit unserer Systeme voll auszuschöpfen und Ihre Messergebnisse auf ein neues Niveau zu heben.

Produktfoto Zubehörteil: Granitprofil

Stative & Granitportale

Objektive

Produktfoto Kalibrierstandard lateral calibration standards

Kalibrierstandards

Schwingungsisolation

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smartWLI firebolt 
Hochgeschwindigkeitssensor für Produktionsumgebungen

Die extreme Geschwindigkeit der 10GigE-Kamera ermöglicht die Messung von Nanostrukturen ohne Antivibrationssysteme in Produktionsumgebungen. Verschiedene Stative, Granitportale, Vibrationsdämpfungssysteme und automatische Kippvorrichtungen ermöglichen die Konfiguration maßgeschneiderter optischer 3D-Profiler unter Verwendung des smartWLI firebolt als Schlüsselkomponente für Hochleistungsmessungen. Das SDK inklusive C++- und C#-Bibliotheken sowie Quellcode für Beispielanwendungen ermöglicht die einfache Integration des Sensors in High-End-Messstationen für Halbleiter und Optik.

Produktfoto des smartWLI nimbus8 Hochgeschwindigkeitssensors für Produktionsumgebungenvon GBS metrology.

smartWLI firebolt

optischer 3D Sensor high Performance Sensor mit manuell wechselbaren Objektiven
Messprinzip Kohärenz-Scanning (Weißlicht) Interferometer
Messachse Piezopositionier-System mit kapazitivem Sensor und Positionsregulierung 400µm Messbereich / 30nm Linearitätsabweichung
Hochgeschwindigkeitskamera 1280 x 1024 Pixel / 935 Hz und Beschleunigung bis zu ca. 10 kHz bei eingeschränkter Messpunktanzahl
Höhenberechnung massiv parallele Verarbeitung der Bilddaten in Echtzeit
SDK Nutzung programmierbarer Hochleistungs-Grafikkarten Softwarebibliotheken in C++ und C# mit Beispielapplikation und zugehörigem Quellcode Ansteuerung aller Sensorfunktionen
Bewertungsalgorithmen VSI (Vertikal Scanning Interferometrie), EPSI (Extended Phase Shift Interferometrie) HD-EPSI (High Density – Extended Phase Shift Interferometrie) mit sehr kleinen Schrittweiten
Profilmittelungen optionale Mittelung über bis zu 40 Einzelmessungen zur Rauschunterdrückung
Schrittweiten variable Schrittweiten zur Optimierung von Auflösung und Messgeschwindigkeit
Systemsoftware smartVIS3D – Benutzerinterface zur Messdatenerfassung
Bewertungssoftware MountainsMap® – Zusammenfügung von Einzelmessungen Visualisierung und Bewertung von 3D-Daten
vereinfachte Automatisierung IO Modul zur Triggerung vordefinierter Mess- und Bewertungsprozesse
optionale Softwareerweiterungen smartSTITCH – mit Höhen- und Winkelkompensation / versatzfreie Zusammenfügung von Nanostrukturen

Anwendungsbeispiel

Beispielmessung smartWLI firebolt

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DE smartWLI firebolt
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smartWLI nimbus8

Hochgeschwindigkeitssensor mit extremer Auflösung
Zubehör
Scan-/Fokusachse (100 mm, motorisiert)
XY-Positioniertisch (200 × 200 mm², motorisiert)
Kipptisch (motorisiert)

smartWLI next

High-End-Sensor mit motorisiertem Objektivrevolver
Zubehör
Scan-/Fokusachse (50 mm, motorisiert)
XY-Positioniertisch (100 × 100 mm², motorisiert)
Kipptisch (manuell bedienbar)
Zubehör
Scan-/Fokusachse (70 mm, manuell bedienbar)
XY-Positioniertisch (100 × 100 mm², motorisiert)
Kipptisch (manuell bedienbar)

smartWLI extended

Universeller Sensor für Messlabore
Zubehör
Scan-/Fokusachse (70 mm, manuell bedienbar)
XY-Positioniertisch (100 × 100 mm², motorisiert)
Kipptisch (manuell bedienbar)
Zubehör
Scan-/Fokusachse (70 mm, manuell bedienbar)
XY-Positioniertisch (100 × 100 mm², manuell bedinbar)
Kipptisch (manuell bedienbar)

smartWLI firebolt8

Hochgeschwindigkeitssensor für Produktionsumgebungen
Zubehör
Scan-/Fokusachse (70 mm, manuell bedienbar)
XY-Positioniertisch (100 × 100 mm², motorisiert)
Kipptisch (manuell bedienbar)
Zubehör
Scan-/Fokusachse (70 mm, manuell bedienbar)
XY-Positioniertisch (100 × 100 mm², motorisiert)
Kipptisch (manuell bedienbar)
Weitere Leistungen

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Maximale Messgenauigkeit erfordert nicht nur einen leistungsfähigen 3D-Oberflächensensor – sondern auch ein optimal abgestimmtes Zubehör. Unser Zubehörprogramm wurde gezielt entwickelt, um die Leistungsfähigkeit unserer Systeme voll auszuschöpfen und Ihre Messergebnisse auf ein neues Niveau zu heben.

Produktfoto Zubehörteil: Granitprofil

Stative & Granitportale

Objektive

Produktfoto Kalibrierstandard lateral calibration standards

Kalibrierstandards

Schwingungsisolation

bool(false)

smartWLI firebolt8 –
Hochgeschwindigkeitssensor für Produktionsumgebungen

Mithilfe einer hochauflösenden und schnellen 10GigE-Kamera liefert der Sensor 8 Millionen Messpunkte in einem schnellen Einzelscan.

Der Sensor bietet entscheidende Vorteile, insbesondere wenn ein größerer Bereich schnell und mit hoher Auflösung gemessen werden muss.

Produktfoto des Hochgeschwindigkeitssensors für Produktionsumgebungen smartWLI firebolt8 von GBS metrology.
Messprinzip Kohärenz-Scanning (Weißlicht) Interferometer
Hochgeschwindigkeits- und Hochauflösungskamera 3488 x 2192 pixel / 160 fps 10GigE Kamera / optionale Dezimierung, binning and AOI
Optischer 3D-Sensor Hochleistungssensor mit manuell wechselbaren Objektiven
Messachse Piezopositionier-System mit kapazitivem Sensor und Positionsregulierung 400μm Messbereich / 30nm Linearitätsabweichung
Hochgeschwindigkeitsmessungen Echtzeit-Bildverarbeitung auf modernen Grafikkarten
Allgemeine Auswertungsalgorithmen VSI (vertical scanning interferometry / Lokalisierung der Interferenzmaxima mit unbegrenztem Scanbereich) PSI (phase shift interferometry für extreme Höhenauflösung)
Schnelle und effektive Rauschunterdrückung Extrem kleine Schrittweiten ermöglichen eine schnelle und effektive Rauschunterdrückung für einzelne Scans und können mit zeitaufwändigen Mittelungsprozessen unter Verwendung mehrerer Scans kombiniert werden
Extreme laterale Auflösung Unbegrenzte Auswertung von bis zu 8 MP Messpunkten ohne Bereichs- und Auflösungsbegrenzung (außer beschleunigte Messungen mit Dezimierung, Binning und AOI (ROI))
vergrößerter/erhöhter Akzeptanzwinkel Bildkorrekturen und Kontrastverstärkung ermöglichen die Erkennung schwacher Signale und die Messung steiler Geometrien auf glänzenden Objekten
konturfreie Scanverfahren AQC (Advanced Quality Control) vergleicht das Interferenzsignal jedes Messpunkts mit einem idealen Signal und eliminiert Ausreißer ohne Matrixfilter.

Anwendungsbeispiel

Beispielmessung des smartWLIfirebolt8

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DE smartWLI firebolt8
2 MB

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smartWLI nimbus8

Hochgeschwindigkeitssensor mit extremer Auflösung
Zubehör
Scan-/Fokusachse (100 mm, motorisiert)
XY-Positioniertisch (200 × 200 mm², motorisiert)
Kipptisch (motorisiert)

smartWLI next

High-End-Sensor mit motorisiertem Objektivrevolver
Zubehör
Scan-/Fokusachse (50 mm, motorisiert)
XY-Positioniertisch (100 × 100 mm², motorisiert)
Kipptisch (manuell bedienbar)
Zubehör
Scan-/Fokusachse (70 mm, manuell bedienbar)
XY-Positioniertisch (100 × 100 mm², motorisiert)
Kipptisch (manuell bedienbar)

smartWLI firebolt

Hochgeschwindigkeitssensor für Produktionsumgebungen
Zubehör
Scan-/Fokusachse (70 mm, manuell bedienbar)
XY-Positioniertisch (100 × 100 mm², motorisiert)
Kipptisch (manuell bedienbar)

smartWLI extended

Universeller Sensor für Messlabore
Zubehör
Scan-/Fokusachse (70 mm, manuell bedienbar)
XY-Positioniertisch (100 × 100 mm², motorisiert)
Kipptisch (manuell bedienbar)
Zubehör
Scan-/Fokusachse (70 mm, manuell bedienbar)
XY-Positioniertisch (100 × 100 mm², manuell bedinbar)
Kipptisch (manuell bedienbar)
Zubehör
Scan-/Fokusachse (70 mm, manuell bedienbar)
XY-Positioniertisch (100 × 100 mm², motorisiert)
Kipptisch (manuell bedienbar)
Weitere Leistungen

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unser Zubehör

Maximale Messgenauigkeit erfordert nicht nur einen leistungsfähigen 3D-Oberflächensensor – sondern auch ein optimal abgestimmtes Zubehör. Unser Zubehörprogramm wurde gezielt entwickelt, um die Leistungsfähigkeit unserer Systeme voll auszuschöpfen und Ihre Messergebnisse auf ein neues Niveau zu heben.

Produktfoto Zubehörteil: Granitprofil

Stative & Granitportale

Objektive

Produktfoto Kalibrierstandard lateral calibration standards

Kalibrierstandards

Schwingungsisolation

bool(false)

smartWLI compact
Universeller Hochleistungssensor

Der Sensor vereint kompakte Abmessungen mit einer hervorragenden Auflösung und einem erschwinglichen Preis. Erhältlich mit 2 verschiedenen Kameras und einem einzigen, manuell austauschbaren Objektiv, ist der Sensor eine gute Wahl für wiederholte Messungen ähnlicher Proben und Messaufgaben, die ähnliche laterale Auflösungen erfordern.
Verschiedene Stative, Granitportale, Vibrationsdämpfungssysteme und automatische Kippvorrichtungen ermöglichen die Konfiguration maßgeschneiderter optischer 3D-Profiler unter Verwendung des smartWLI compact als Schlüsselkomponente für Hochleistungsmessungen.
Das SDK inklusive C++- und C#-Bibliotheken sowie Quellcode für Beispielanwendungen ermöglicht die einfache Integration des Sensors in High-End-Messstationen für Halbleiter und Optik.

Produktfoto des smartWLI compact -universeller Hochleistungssensor von GBS metrology.
optischer 3D Sensor high Performance Sensor mit manuell wechselbaren Objektiven
Messprinzip Kohärenz-Scanning (Weißlicht) Interferometer
Messachse Piezopositionier-System mit kapazitivem Sensor und Positionsregulierung
Hochgeschwindigkeitskamera Variante 2,3 MP 1920 x 1200 pixel / 169 Hz und Beschleunigungbis zu 3,2 kHz beieingeschränkter Messpunktanzahl
Hochgeschwindigkeitskamera Variante 5,0 MP 2456 x 2054 Pixel / 77 Hz und Beschleunigungbis zu 2 kHz beieingeschränkter Messpunktanzahl
Höhenberechnung massiv parallele Verarbeitung der Bilddaten in Echtzeit
SDK Softwarebibliotheken in C++ und C# mit Beispielapplikation und zugehörigem Quellcode
Bewertungsalgorithmen VSI (Vertikal Scanning Interferometrie), EPSI (Extended Phase Shift Interferometrie)
optionale Bewertungsalgorithmen HD-EPSI (High Density – Extended Phase Shift Interferometrie) mit sehr kleinen Schrittweiten
optionale Profilmittelungen Mittelung über bis zu 40 Einzelmessungen zur Rauschunterdrückung
Schrittweiten variable Schrittweiten zur Optimierung von Auflösung und Messgeschwindigkeit
Systemsoftware smartVIS3D – Benutzerinterface zur Messdatenerfassung
Bewertungssoftware MountainsMap® – Zusammenfügung von Einzelmessungen Visualisierung und Bewertung von 3D-Daten
vereinfachte Automatisierung IO Modul zur Triggerung vordefinierter Mess- und Bewertungsprozesse
optionale Softwareerweiterungen smartSTITCH – mit Höhen- und Winkelkompensation / versatzfreie Zusammenfügung von Nanostrukturen

Anwendungsbeispiel

Beispielmessung smartWI compact

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DE smartWLI compact 5 MP
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smartWLI nimbus8

Hochgeschwindigkeitssensor mit extremer Auflösung
Zubehör
Scan-/Fokusachse (100 mm, motorisiert)
XY-Positioniertisch (200 × 200 mm², motorisiert)
Kipptisch (motorisiert)

smartWLI next

High-End-Sensor mit motorisiertem Objektivrevolver
Zubehör
Scan-/Fokusachse (50 mm, motorisiert)
XY-Positioniertisch (100 × 100 mm², motorisiert)
Kipptisch (manuell bedienbar)
Zubehör
Scan-/Fokusachse (70 mm, manuell bedienbar)
XY-Positioniertisch (100 × 100 mm², motorisiert)
Kipptisch (manuell bedienbar)

smartWLI firebolt

Hochgeschwindigkeitssensor für Produktionsumgebungen
Zubehör
Scan-/Fokusachse (70 mm, manuell bedienbar)
XY-Positioniertisch (100 × 100 mm², motorisiert)
Kipptisch (manuell bedienbar)

smartWLI extended

Universeller Sensor für Messlabore
Zubehör
Scan-/Fokusachse (70 mm, manuell bedienbar)
XY-Positioniertisch (100 × 100 mm², motorisiert)
Kipptisch (manuell bedienbar)
Zubehör
Scan-/Fokusachse (70 mm, manuell bedienbar)
XY-Positioniertisch (100 × 100 mm², manuell bedinbar)
Kipptisch (manuell bedienbar)

smartWLI firebolt8

Hochgeschwindigkeitssensor für Produktionsumgebungen
Zubehör
Scan-/Fokusachse (70 mm, manuell bedienbar)
XY-Positioniertisch (100 × 100 mm², motorisiert)
Kipptisch (manuell bedienbar)
Zubehör
Scan-/Fokusachse (70 mm, manuell bedienbar)
XY-Positioniertisch (100 × 100 mm², motorisiert)
Kipptisch (manuell bedienbar)
Weitere Leistungen

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Maximale Messgenauigkeit erfordert nicht nur einen leistungsfähigen 3D-Oberflächensensor – sondern auch ein optimal abgestimmtes Zubehör. Unser Zubehörprogramm wurde gezielt entwickelt, um die Leistungsfähigkeit unserer Systeme voll auszuschöpfen und Ihre Messergebnisse auf ein neues Niveau zu heben.

Produktfoto Zubehörteil: Granitprofil

Stative & Granitportale

Objektive

Produktfoto Kalibrierstandard lateral calibration standards

Kalibrierstandards

Schwingungsisolation

NULL

smartWLI nanoscan

Sensor mit extremer Auflösung

Der smartWLI nanoscan ist mit einer blauen LED-Beleuchtung, mit höherer Tubusvergrößerung und einer 5-MP-Kamera ausgestattet. Dadurch ist der Sensor in der Lage, Strukturen mit einer lateralen Abmessung von bis zu 0,4 µm mit einer räumlichen Abtastung bis hinunter zu 0,03 µm zu messen.
Verschiedene Stative, Granitportale, Vibrationsdämpfungssysteme und automatische Kippvorrichtungen ermöglichen die Konfiguration maßgeschneiderter optischer 3D-Profiler unter Verwendung des smartWLI nanoscan als Schlüsselkomponente für Hochleistungsmessungen.
Das SDK inklusive C++- und C#-Bibliotheken sowie Quellcode für Beispielanwendungen ermöglicht die einfache Integration des Sensors in High-End-Messstationen für Halbleiter und Optik.

optischer 3D Sensor high Performance Sensor mit manuell wechselbaren Objektiven
Messprinzip Kohärenz-Scanning (Weißlicht) Interferometer
Messachse Piezopositionier-System mit kapazitivem Sensor und Positionsregulierung 400μm Messbereich / 30nm Linearitätsabweichung
Hochgeschwindigkeitskamera 2456 x 2054 Pixel / 77 Hz und Beschleunigung bis zu 2 kHz bei eingeschränkter Messpunktanzahl
Höhenberechnung massiv parallele Verarbeitung der Bilddaten in Echtzeit Nutzung programmierbarer Hochleistungs-Grafikkarten
SDK Softwarebibliotheken in C++ und C# mit Beispielapplikation und zugehörigem Quellcode Ansteuerung aller Sensorfunktionen
Bewertungsalgorithmen VSI (Vertikal Scanning Interferometrie), EPSI (Extended Phase Shift Interferometrie) HD-EPSI (High Density – Extended Phase Shift Interferometrie) mit sehr kleinen Schrittweiten
Profilmittelungen optionale Mittelung über bis zu 40 Einzelmessungen zur Rauschunterdrückung
Schrittweiten variable Schrittweiten zur Optimierung von Auflösung und Messgeschwindigkeit

Anwendungsbeispiel

Beispielmessung smartWLI nanoscan

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DE smartWLI nanoscan
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smartWLI nimbus8

Hochgeschwindigkeitssensor mit extremer Auflösung
Zubehör
Scan-/Fokusachse (100 mm, motorisiert)
XY-Positioniertisch (200 × 200 mm², motorisiert)
Kipptisch (motorisiert)

smartWLI next

High-End-Sensor mit motorisiertem Objektivrevolver
Zubehör
Scan-/Fokusachse (50 mm, motorisiert)
XY-Positioniertisch (100 × 100 mm², motorisiert)
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Hochgeschwindigkeitssensor für Produktionsumgebungen
Zubehör
Scan-/Fokusachse (70 mm, manuell bedienbar)
XY-Positioniertisch (100 × 100 mm², motorisiert)
Kipptisch (manuell bedienbar)

smartWLI extended

Universeller Sensor für Messlabore
Zubehör
Scan-/Fokusachse (70 mm, manuell bedienbar)
XY-Positioniertisch (100 × 100 mm², motorisiert)
Kipptisch (manuell bedienbar)
Zubehör
Scan-/Fokusachse (70 mm, manuell bedienbar)
XY-Positioniertisch (100 × 100 mm², manuell bedinbar)
Kipptisch (manuell bedienbar)

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Hochgeschwindigkeitssensor für Produktionsumgebungen
Zubehör
Scan-/Fokusachse (70 mm, manuell bedienbar)
XY-Positioniertisch (100 × 100 mm², motorisiert)
Kipptisch (manuell bedienbar)
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Scan-/Fokusachse (70 mm, manuell bedienbar)
XY-Positioniertisch (100 × 100 mm², motorisiert)
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Maximale Messgenauigkeit erfordert nicht nur einen leistungsfähigen 3D-Oberflächensensor – sondern auch ein optimal abgestimmtes Zubehör. Unser Zubehörprogramm wurde gezielt entwickelt, um die Leistungsfähigkeit unserer Systeme voll auszuschöpfen und Ihre Messergebnisse auf ein neues Niveau zu heben.

Produktfoto Zubehörteil: Granitprofil

Stative & Granitportale

Objektive

Produktfoto Kalibrierstandard lateral calibration standards

Kalibrierstandards

Schwingungsisolation

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smartWLI extended range 
mit einem mittleren Z-Scanbereich

Der Sensor ist das Einstiegsmodell in die smartWLI-Produktfamilie. Die integrierte 5-mm-Achse ermöglicht eine automatisierte Schnellfokussierung mit Entfernungserkennung und automatisierten Messungen. Das spart Zeit und vereinfacht die Sensorintegration in Produktionslinien.
Das SDK inklusive C++- und C#-Bibliotheken sowie Quellcode für Beispielanwendungen ermöglicht die einfache Integration des Sensors in High-End-Messstationen für Halbleiter und Optik.

optischer 3D Sensor Sensor mit manuell wechselbaren Objektiven
Messprinzip Kohärenz-Scanning (Weißlicht) Interferometer
Messachse mechanische Präzisionsachse 5 mm Messbereich / 3 μm Linearitätsabweichung
Hochgeschwindigkeitskamera 1920 x 1200 Pixel / 169 Hz und Beschleunigung bis zu 3.2 kHz bei eingeschränkter Messpunktanzahl
Höhenberechnung massiv parallele Verarbeitung der Bilddaten in Echtzeit Nutzung programmierbarer Hochleistungs-Grafikkarten
SDK Softwarebibliotheken in C++ und C# mit Beispielapplikation und zugehörigem Quellcode Ansteuerung aller Sensorfunktionen
Bewertungsalgorithmen VSI (Vertikal Scanning Interferometrie) EPSI (Extended Phase Shift Interferometrie)
Profilmittelungen optionale Mittelung über bis zu 40 Einzelmessungen zur Rauschunterdrückung
Schrittweiten variable Schrittweiten zur Optimierung von Auflösung und Messgeschwindigkeit

Anwendungsbeispiel

Beispielmessung smartWLI extended range

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DE smartWLI extended range
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