Ausgestattet mit einem Objektivrevolver und einer hochauflösenden, schnellen 10-GigE-Kamera bietet der Sensor hervorragende Leistung für universelle Messplätze und optische 3D-Profilometer, die in Forschungseinrichtungen für anspruchsvolle Messaufgaben eingesetzt werden.

Der smartWLI next kombiniert die hohe Auflösung eines Piezoscanners mit den Vorteilen eines motorisierten Revolvers. Der Sensor kann mit einer von drei verschiedenen Kameras ausgestattet werden, die unterschiedliche Geschwindigkeit und Auflösung bieten.
Verschiedene Stative, Granitportale, Schwingungsdämpfungssysteme und automatische Kippvorrichtungen ermöglichen die Konfiguration maßgeschneiderter optischer 3D-Profiler unter Verwendung des smartWLI next als Schlüsselkomponente für Hochleistungsmessungen.
Das SDK inklusive C++- und C#-Bibliotheken sowie Quellcode für Beispielanwendungen ermöglicht die einfache Integration des Sensors in High-End-Messstationen für Halbleiter und Optik.

Mithilfe einer hochauflösenden und schnellen 10GigE-Kamera liefert der Sensor 8 Millionen Messpunkte in einem schnellen Einzelscan.

Der Sensor bietet entscheidende Vorteile, insbesondere wenn ein größerer Bereich schnell und mit hoher Auflösung gemessen werden muss.

Der smartWLI nanoscan ist mit einer blauen LED-Beleuchtung, mit höherer Tubusvergrößerung und einer 5-MP-Kamera ausgestattet. Dadurch ist der Sensor in der Lage, Strukturen mit einer lateralen Abmessung von bis zu 0,4 µm mit einer räumlichen Abtastung bis hinunter zu 0,03 µm zu messen.
Verschiedene Stative, Granitportale, Vibrationsdämpfungssysteme und automatische Kippvorrichtungen ermöglichen die Konfiguration maßgeschneiderter optischer 3D-Profiler unter Verwendung des smartWLI nanoscan als Schlüsselkomponente für Hochleistungsmessungen.
Das SDK inklusive C++- und C#-Bibliotheken sowie Quellcode für Beispielanwendungen ermöglicht die einfache Integration des Sensors in High-End-Messstationen für Halbleiter und Optik.