smartWLI nimbus8 –
Hochgeschwindigkeitssensor
mit extremer Auflösung
Ausgestattet mit einem Objektivrevolver und einer hochauflösenden, schnellen 10-GigE-Kamera bietet der Sensor hervorragende Leistung für universelle Messplätze und optische 3D-Profilometer, die in Forschungseinrichtungen für anspruchsvolle Messaufgaben eingesetzt werden.
| Messprinzip | Kohärenz-Scanning (Weißlicht) Interferometer |
| Hochgeschwindigkeits- und Hochauflösungskamera | 3488 x 2192 pixel / 160 fps 10GigE Kamera / optionale Dezimierung, binning and AOI (ROI) |
| Optischer 3D-Sensor | Hochleistungssensor mit motorisiertem Objektivrevolver für bis zu 4 Objektive |
| Messachse | Piezopositioniersystem, kapazitive Closed-Loop-Steuerung; 200μm Messbereich / 30nm Linearitätsabweichung |
| Hochgeschwindigkeitsmessungen | Echtzeit-Bildverarbeitung auf modernen Grafikkarten |
| Allgemeine Auswertungsalgorithmen | HD-EPSI mit kombinierter: VSI (vertical scanning interferometry / Lokalisierung der Interferenzmaxima mit unbegrenztem Scanbereich) PSI (phase shift interferometry für extreme Höhenauflösung) |
| Schnelle und effektive Rauschunterdrückung | Extrem kleine Schrittweiten ermöglichen eine schnelle und effektive Rauschunterdrückung für einzelne Scans und können mit zeitaufwändigen Mittelungsprozessen unter |
| Extreme laterale Auflösung | Unbegrenzte Auswertung von bis zu 8 MP Messpunkten ohne Bereichs- und Auflösungsbegrenzung (außer beschleunigte Messungen mit Dezimierung, Binning und AOI |
| vergrößerter/erhöhter Akzeptanzwinkel | Bildkorrekturen und Kontrastverstärkung ermöglichen die Erkennung schwacher Signale und die Messung steiler Geometrien auf glänzenden Objekten |
| konturfreie Scanverfahren | AQC (Advanced Quality Control) vergleicht das Interferenzsignal jedes Messpunkts mit einem idealen Signal und eliminiert Ausreißer ohne Matrixfilter. |
Anwendungsbeispiel
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