smartWLI next –
High-End-Sensor mit
motorisiertem Objektivrevolver
Der smartWLI next kombiniert die hohe Auflösung eines Piezoscanners mit den Vorteilen eines motorisierten Revolvers. Der Sensor kann mit einer von drei verschiedenen Kameras ausgestattet werden, die unterschiedliche Geschwindigkeit und Auflösung bieten.
Verschiedene Stative, Granitportale, Schwingungsdämpfungssysteme und automatische Kippvorrichtungen ermöglichen die Konfiguration maßgeschneiderter optischer 3D-Profiler unter Verwendung des smartWLI next als Schlüsselkomponente für Hochleistungsmessungen.
Das SDK inklusive C++- und C#-Bibliotheken sowie Quellcode für Beispielanwendungen ermöglicht die einfache Integration des Sensors in High-End-Messstationen für Halbleiter und Optik.
| optischer 3D Sensor | Hochleistungssensor mit motorisiertem Objektivrevolver für bis zu 4 Objektive |
| Messprinzip | Kohärenz-Scanning (Weißlicht) Interferometer |
| Messachse | Piezopositionier-System mit kapazitivem Sensor und Positionsregulierung |
| Hochgeschwindigkeitskamera | Variante 1.3 MP: 1280 x 1024 pixel / 935 Hz und Beschleunigung bis zu 10 kHz bei eingeschränkter Messpunktanzahl Variante |
| Variante 2,3 MP: 1920 x 1200 pixel / 169 Hz und Beschleunigung bis zu 3,2 kHz beieingeschränkter Messpunktanzahl | |
| Variante 5,0 MP: 2456 x 2054 Pixel / 77 Hz und Beschleunigung bis zu 2 kHz beieingeschränkter Messpunktanzahl | |
| Höhenberechnung | massiv parallele Verarbeitung der Bilddaten in Echtzeit in den GPGPUs (Allzweck-Grafikprozessor / programmierbare Hochleistungs-Grafikkarten) |
| SDK | Softwarebibliotheken in C++ und C# mit Beispielapplikation und zugehörigem Quellcode Steuerung aller Sensorfunktionen |
| Bewertungsalgorithmen | VSI (Vertikal Scanning Interferometrie), EPSI (Extended Phase Shift Interferometrie) |
| optionale Bewertungsalgorithmen | HD-EPSI (high density – erweiterte Phasenverschiebungsinterferometrie) mit kleinen Abtastschritten |
| optionale Profilmittelungen | Mittelung über bis zu 40 Einzelmessungen zur Rauschunterdrückung |
| Schrittweiten | variable Schrittweiten zur Optimierung von Auflösung und Messgeschwindigkeit |
Anwendungsbeispiel
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