Der smartWLI nanoscan ist mit einer blauen LED-Beleuchtung, mit höherer Tubusvergrößerung und einer 5-MP-Kamera ausgestattet. Dadurch ist der Sensor in der Lage, Strukturen mit einer lateralen Abmessung von bis zu 0,4 µm mit einer räumlichen Abtastung bis hinunter zu 0,03 µm zu messen.
Verschiedene Stative, Granitportale, Vibrationsdämpfungssysteme und automatische Kippvorrichtungen ermöglichen die Konfiguration maßgeschneiderter optischer 3D-Profiler unter Verwendung des smartWLI nanoscan als Schlüsselkomponente für Hochleistungsmessungen.
Das SDK inklusive C++- und C#-Bibliotheken sowie Quellcode für Beispielanwendungen ermöglicht die einfache Integration des Sensors in High-End-Messstationen für Halbleiter und Optik.