smartWLI firebolt8 –
Hochgeschwindigkeitssensor für Produktionsumgebungen
Mithilfe einer hochauflösenden und schnellen 10GigE-Kamera liefert der Sensor 8 Millionen Messpunkte in einem schnellen Einzelscan.
Der Sensor bietet entscheidende Vorteile, insbesondere wenn ein größerer Bereich schnell und mit hoher Auflösung gemessen werden muss.
| Messprinzip | Kohärenz-Scanning (Weißlicht) Interferometer |
| Hochgeschwindigkeits- und Hochauflösungskamera | 3488 x 2192 pixel / 160 fps 10GigE Kamera / optionale Dezimierung, binning and AOI |
| Optischer 3D-Sensor | Hochleistungssensor mit manuell wechselbaren Objektiven |
| Messachse | Piezopositionier-System mit kapazitivem Sensor und Positionsregulierung 400μm Messbereich / 30nm Linearitätsabweichung |
| Hochgeschwindigkeitsmessungen | Echtzeit-Bildverarbeitung auf modernen Grafikkarten |
| Allgemeine Auswertungsalgorithmen | VSI (vertical scanning interferometry / Lokalisierung der Interferenzmaxima mit unbegrenztem Scanbereich) PSI (phase shift interferometry für extreme Höhenauflösung) |
| Schnelle und effektive Rauschunterdrückung | Extrem kleine Schrittweiten ermöglichen eine schnelle und effektive Rauschunterdrückung für einzelne Scans und können mit zeitaufwändigen Mittelungsprozessen unter Verwendung mehrerer Scans kombiniert werden |
| Extreme laterale Auflösung | Unbegrenzte Auswertung von bis zu 8 MP Messpunkten ohne Bereichs- und Auflösungsbegrenzung (außer beschleunigte Messungen mit Dezimierung, Binning und AOI (ROI)) |
| vergrößerter/erhöhter Akzeptanzwinkel | Bildkorrekturen und Kontrastverstärkung ermöglichen die Erkennung schwacher Signale und die Messung steiler Geometrien auf glänzenden Objekten |
| konturfreie Scanverfahren | AQC (Advanced Quality Control) vergleicht das Interferenzsignal jedes Messpunkts mit einem idealen Signal und eliminiert Ausreißer ohne Matrixfilter. |
Anwendungsbeispiel
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