smartWLI compact –
Universeller Hochleistungssensor
Der Sensor vereint kompakte Abmessungen mit einer hervorragenden Auflösung und einem erschwinglichen Preis. Erhältlich mit 2 verschiedenen Kameras und einem einzigen, manuell austauschbaren Objektiv, ist der Sensor eine gute Wahl für wiederholte Messungen ähnlicher Proben und Messaufgaben, die ähnliche laterale Auflösungen erfordern.
Verschiedene Stative, Granitportale, Vibrationsdämpfungssysteme und automatische Kippvorrichtungen ermöglichen die Konfiguration maßgeschneiderter optischer 3D-Profiler unter Verwendung des smartWLI compact als Schlüsselkomponente für Hochleistungsmessungen.
Das SDK inklusive C++- und C#-Bibliotheken sowie Quellcode für Beispielanwendungen ermöglicht die einfache Integration des Sensors in High-End-Messstationen für Halbleiter und Optik.
| optischer 3D Sensor | high Performance Sensor mit manuell wechselbaren Objektiven |
| Messprinzip | Kohärenz-Scanning (Weißlicht) Interferometer |
| Messachse | Piezopositionier-System mit kapazitivem Sensor und Positionsregulierung |
| Hochgeschwindigkeitskamera Variante 2,3 MP | 1920 x 1200 pixel / 169 Hz und Beschleunigungbis zu 3,2 kHz beieingeschränkter Messpunktanzahl |
| Hochgeschwindigkeitskamera Variante 5,0 MP | 2456 x 2054 Pixel / 77 Hz und Beschleunigungbis zu 2 kHz beieingeschränkter Messpunktanzahl |
| Höhenberechnung | massiv parallele Verarbeitung der Bilddaten in Echtzeit |
| SDK | Softwarebibliotheken in C++ und C# mit Beispielapplikation und zugehörigem Quellcode |
| Bewertungsalgorithmen | VSI (Vertikal Scanning Interferometrie), EPSI (Extended Phase Shift Interferometrie) |
| optionale Bewertungsalgorithmen | HD-EPSI (High Density – Extended Phase Shift Interferometrie) mit sehr kleinen Schrittweiten |
| optionale Profilmittelungen | Mittelung über bis zu 40 Einzelmessungen zur Rauschunterdrückung |
| Schrittweiten | variable Schrittweiten zur Optimierung von Auflösung und Messgeschwindigkeit |
| Systemsoftware | smartVIS3D – Benutzerinterface zur Messdatenerfassung |
| Bewertungssoftware | MountainsMap® – Zusammenfügung von Einzelmessungen Visualisierung und Bewertung von 3D-Daten |
| vereinfachte Automatisierung | IO Modul zur Triggerung vordefinierter Mess- und Bewertungsprozesse |
| optionale Softwareerweiterungen | smartSTITCH – mit Höhen- und Winkelkompensation / versatzfreie Zusammenfügung von Nanostrukturen |
Anwendungsbeispiel
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