smartWLI firebolt –
Hochgeschwindigkeitssensor für Produktionsumgebungen
Die extreme Geschwindigkeit der 10GigE-Kamera ermöglicht die Messung von Nanostrukturen ohne Antivibrationssysteme in Produktionsumgebungen. Verschiedene Stative, Granitportale, Vibrationsdämpfungssysteme und automatische Kippvorrichtungen ermöglichen die Konfiguration maßgeschneiderter optischer 3D-Profiler unter Verwendung des smartWLI firebolt als Schlüsselkomponente für Hochleistungsmessungen. Das SDK inklusive C++- und C#-Bibliotheken sowie Quellcode für Beispielanwendungen ermöglicht die einfache Integration des Sensors in High-End-Messstationen für Halbleiter und Optik.
smartWLI firebolt
| optischer 3D Sensor | high Performance Sensor mit manuell wechselbaren Objektiven |
| Messprinzip | Kohärenz-Scanning (Weißlicht) Interferometer |
| Messachse | Piezopositionier-System mit kapazitivem Sensor und Positionsregulierung 400µm Messbereich / 30nm Linearitätsabweichung |
| Hochgeschwindigkeitskamera | 1280 x 1024 Pixel / 935 Hz und Beschleunigung bis zu ca. 10 kHz bei eingeschränkter Messpunktanzahl |
| Höhenberechnung | massiv parallele Verarbeitung der Bilddaten in Echtzeit |
| SDK | Nutzung programmierbarer Hochleistungs-Grafikkarten Softwarebibliotheken in C++ und C# mit Beispielapplikation und zugehörigem Quellcode Ansteuerung aller Sensorfunktionen |
| Bewertungsalgorithmen | VSI (Vertikal Scanning Interferometrie), EPSI (Extended Phase Shift Interferometrie) HD-EPSI (High Density – Extended Phase Shift Interferometrie) mit sehr kleinen Schrittweiten |
| Profilmittelungen | optionale Mittelung über bis zu 40 Einzelmessungen zur Rauschunterdrückung |
| Schrittweiten | variable Schrittweiten zur Optimierung von Auflösung und Messgeschwindigkeit |
| Systemsoftware | smartVIS3D – Benutzerinterface zur Messdatenerfassung |
| Bewertungssoftware | MountainsMap® – Zusammenfügung von Einzelmessungen Visualisierung und Bewertung von 3D-Daten |
| vereinfachte Automatisierung | IO Modul zur Triggerung vordefinierter Mess- und Bewertungsprozesse |
| optionale Softwareerweiterungen | smartSTITCH – mit Höhen- und Winkelkompensation / versatzfreie Zusammenfügung von Nanostrukturen |
Anwendungsbeispiel
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Maximale Messgenauigkeit erfordert nicht nur einen leistungsfähigen 3D-Oberflächensensor – sondern auch ein optimal abgestimmtes Zubehör. Unser Zubehörprogramm wurde gezielt entwickelt, um die Leistungsfähigkeit unserer Systeme voll auszuschöpfen und Ihre Messergebnisse auf ein neues Niveau zu heben.
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