Schleifwerkzeuge
Schleifwerkzeuge und insbesondere Oberflächen von Diamantwerkzeugen stellen hohe Anforderungen an das optische Messgerät und die Bewertung schwacher Reflexionen von transparenten, stark abfallenden und glatten Kanten, jedoch nicht notwendiger Weise an die Höhenauflösung. Typischer Weise kommen Systeme ohne Piezo mit 20x und 50x Objektiven zum Einsatz.
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Die Bewertung der Oberflächen von Diamantwerkzeugen ist nur eingeschränkt mittels Rauheitsparameter möglich. Aus diesem Grund kommen spezielle Bewertungsmöglichkeiten zum Einsatz, bei denen die Schleifkörner einzeln erfasst und bewertet werden. Es folgen statistische Bewertungen bei denen z.B. die Korndichte, Ausbrüche oder der Überstand über dem eingebetteten Material bewertet werden können.
Die lokale Bewertung der Oberflächenstruktur ist oft nicht ausreichend, da es signifikante Unterschiede auf größeren Flächen geben kann. Eine hohe Messgeschwindigkeit von Vorteil, um viele Positionen in akzeptabler Zeit messen zu können.
